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[BOOKデータベースより]
プロローグ 研磨加工の流れは技能重視から技術化へ
第１章 研磨加工の特徴
第２章 研磨装置の基本構成
第３章 研磨理論の基礎
第４章 研磨運動の解析
第５章 研磨圧力の解析
第６章 シミュレーションに必要なパラメータの特性測定
第７章 各種研磨方式のシミュレーションに対する検証