はじめての半導体計測

ビギナーズブックス　４５

工業調査会
水野文夫　

• 価格: 2,640円（本体2,400円＋税）
• 発行年月: 2008年03月
• 判型: Ａ５
• ISBN: 9784769312710

内容情報

[BOOKデータベースより]

計測の中で、半導体デバイスの研究・開発・製造に用いられる観測技術を「半導体計測」という。半導体デバイスが現在のＩＴ（情報技術）時代・ユビキタス社会（どこにでもコンピュータが存在する社会）を支える土台であるとするならば、半導体計測はその土台を下支えする基礎になり、歩留まり向上などにも重要な役割を果たす。本書は、こうした半導体計測技術の基礎から各手法の内容、またケースごとの半導体計測の原理やポイントについて詳細に解説。

第１章　計測（計測とは；計測の機能；計測の性能；トレーサビリティ）
第２章　半導体計測（半導体計測の種類；半導体計測の特徴；半導体計測の手法）
第３章　主な半導体計測（パターン寸法・ＬＥＲ（ＬＷＲ）・形状の観測；微粒子・パターン欠陥の検査；膜厚の測定；ウエーハ表面汚染物質の分析；補足：既成概念からの脱却…超高エネルギー電子ビームの使用）