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- MEMS開発&活用スタートアップ
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動作原理,設計・製造工程から応用事例まで
Design wave mook
- 価格
- 2,640円(本体2,400円+税)
- 発行年月
- 2004年12月
- 判型
- A5変
- ISBN
- 9784789837163
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[BOOKデータベースより]
第1部 MEMSデバイス設計・製造編(「MEMS」の世界へようこそ;MEMS圧力センサ設計;MEMS圧力センサ製造工程;身近なMEMSデバイスの動作原理を理解する ほか)
第2部 MEMSシステム設計編(MEMS加速度センサをシステムに組み込む;MEMS加速度センサで無線センサ・ネットワークを構築する;MEMSジャイロ・センサをシステムに組み込む;MEMS慣性デバイスのキラー・アプリ ほか)