ナノテクノロジーのための走査電子顕微鏡

表面分析技術選書　

丸善出版
日本表面科学会　

• 価格: 3,960円（本体3,600円＋税）
• 発行年月: 2004年02月
• 判型: Ａ５
• ISBN: 9784621073612

内容情報

[BOOKデータベースより]

本書は、表面科学、ナノサイエンス、ナノテクノロジーという新しい切り口からＳＥＭの能力と可能性をまとめたものである。おそらく、少なからぬ方がＳＥＭでもこのようなものが観えるのか、あるいは、このような使い方もあるということに驚かれるであろう。原子レベルの分解能がなくとも、操作性の良さと他の計測法や加工法との複合化のしやすさにより、単なる観察手段にとどまらず、ナノ計測・ナノ加工のツールとして、ますます重要な位置を占め、その応用範囲が広がっていくものと考えられる。物質系のナノサイエンス、ナノテクノロジーを中心とした構成。

１　走査電子顕微鏡の概要（基本構成；装置の種類　ほか）
２　装置と測定法（装置；試料処理　ほか）
３　像形成と分解能（電子と固体との相互作用；像形成と各種コントラスト　ほか）
４　ナノマテリアルの観察（半導体ナノ構造の観察；カーボンナノチューブの観察　ほか）
５　その場観察・複合観察（超高真空ＳＥＭによるその場観察；プローブ顕微鏡との複合化　ほか）

[日販商品データベースより]

電子顕微鏡の中の走査電子顕微鏡について、装置、試料処理、測定法、分解能から、走査電子顕微鏡の有効活用までを理解できる１冊。ナノテクノロジー領域で重要なツールを実際の観察結果を多く織りまぜて解説する。