- よくわかる半導体ＬＳＩのできるまで
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- 価格
- 1,980円（本体1,800円＋税）
- 発行年月
- 2001年12月
- 判型
- Ａ５
- ISBN
- 9784526048562
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[BOOKデータベースより]
本書は、高専や大学などで初めて半導体を学ぶ学生さん、或いは半導体関連実務の初心者を対象に書かれたもの。ＬＳＩの作り方を設計から組み立て、検査まで、さらにはフォトマスクやウェーハの作り方まで含めて、工程順に易しく解説している。
第１章 半導体ＬＳＩとは
第２章 半導体製造技術及び装置技術の動向
第３章 設計工程
第４章 ウェーハ製造工程
第５章 フォトマスク製作工程
第６章 ウェーハ処理工程（前工程）
第７章 組立工程
第８章 検査工程