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第4世代のLCD製造・検査技術

プレスジャーナル

価格
25,300円(本体23,000円+税)
発行年月
2000年01月
判型
規格外
ISBN
9784894660816

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内容情報
[BOOKデータベースより]

第4世代へ向けた最新のLCD製造・検査技術とコスト削減法、環境・省エネ対策を完全網羅。

第1編 4期ラインへ向けたTFT‐LCD技術(a‐Si TFT‐LCDの高画質化・高性能化;LCDの高速化技術;4期ラインへ向けたa‐Si TFT‐LCD製造技術;工程別製造技術 ほか)
第2編 TFT‐LCDの製造コスト削減(デバイス構造の簡素化とPEP数・工程数削減;部品・材料の削減によるコストダウンの可能性;歩留り向上;次期a‐Si TFT‐LCDへの設備投資のあり方)
第3編 LCDの省エネ・環境対策(LCD製造プロセスの環境負荷;リモートNF3プラズマソースクリーニング;LCD工場におけるエネルギーの有効利用;フォトレジストの再生・リサイクル)
第4編 ポストa‐Si TFT‐LCDを狙う新しいLCD(低温poly‐Si TFT‐LCD;強誘電性LCD;反強誘電LCD;反射型LCD ほか)

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