半導体真空技術

ポイント解説

東京電機大学出版局
宇津木勝　

• 価格: 2,750円（本体2,500円＋税）
• 発行年月: 2011年05月
• 判型: Ａ５
• ISBN: 9784501418908

内容情報

[BOOKデータベースより]

１　基礎編（半導体製造装置と真空；真空の理論と計算；真空ポンプとその使い方；真空ゲージとその使い方；ガスシステム・真空部分とその使い方；リーク探し；真空装置の取り扱い）
２　応用編（サーマル装置とプロセス；プラズマ装置とプロセス；ＰＶＤ装置とプロセス；ＣＶＤ装置とプロセス；エッチング装置とプロセス；インプランテーション装置とプロセス；プロセス管理・検査測定装置）

[日販商品データベースより]

真空技術はあらゆる産業を支える基礎技術の一つであり、食品産業から宇宙産業に至るまでその恩恵に与っている、本書では半導体産業に焦点をあて、そこで使われている真空技術についてまとめた。できるだけ数式を使わずに理論的、体系的に半導体に関わる真空技術を解説。