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価格：4,400円（本体4,000円＋税）
【2009年12月発売】
価格：1,540円（本体1,400円＋税）
【1995年08月発売】
価格：71,500円（本体65,000円＋税）
【2005年12月発売】
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[BOOKデータベースより]
第１編 ３００ｍｍで変わる半導体製造技術（３００ｍｍ半導体工場の全貌と標準化；３００ｍｍ半導体プロセス技術）
第２編 ３００ｍｍで変わる半導体製造装置・材料技術（３００ｍｍ半導体製造装置の評価；３００ｍｍ半導体製造装置技術；３００ｍｍ関連設備・部材技術）