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価格：3,960円（本体3,600円＋税）
【1995年09月発売】
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[BOOKデータベースより]
本書は総合知識を必要とする技術分野を扱っている。特に、マイクロ光学、マイクロ力学の基礎、マイクロマシニング、マイクロオプティカルセンサ、マイクロメカニカルセンサ、マイクロアクチュエータ、マイクロオプティクスなどの最先端技術を、詳細に記述してある。
１ マイクロ工学の基礎
２ マイクロマシニング
３ マイクロオプティカルセンサ
４ マイクロメカニカルセンサ
５ マイクロアクチュエータ
６ マイクロオプティクス
７ マイクロオプトメカトロニクス融合技術とその応用