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価格：2,090円（本体1,900円＋税）
【1990年05月発売】
価格：2,136円（本体1,942円＋税）
【1990年11月発売】
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[BOOKデータベースより]
ＩＣから、ＵＬＳＩ、さらにＧＳＩへと発展しようとしている集積回路は、高度情報・通信社会の基盤を支える技術である。本書はこれら最先端の集積回路を実現するために必要な、広範囲なプロセス技術に関する解説書である。
１ 集積回路の構造と必要なプロセス技術
２ 微細加工技術
３ 簿膜堆積技術
４ 酸化膜技術
５ 不純物導入技術
６ 清浄化技術
７ 結晶成長技術
８ 高・強誘電体薄膜形成技術
９ プロセスモジュール技術
１０ プロセスシミュレーション技術
１１ ＵＬＳＩプロセス技術の将来動向と課題