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価格：1,624円（本体1,476円＋税）
【2004年09月発売】
価格：1,430円（本体1,300円＋税）
【2016年10月発売】
価格：2,934円（本体2,667円＋税）
【2017年04月発売】
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[BOOKデータベースより]
本書はフォトマスクの全般について解説したものである。単にフォトマスクを紹介することに留まらず、ＬＳＩマスクを代表にしたマスク技術の変遷、次世代のマスクおよび今後の展望にも言及した。
第１章 フォトマスクとは
第２章 フォトマスク製造の基本技術
第３章 ＬＳＩ用フォトマスクの実際
第４章 ＬＣＤ用フォトマスクの実際
第５章 ＰＷＢ用フォトマスクの実際
第６章 クリーン化技術
第７章 次世代マスクの技術展望
第８章 今後の展望