半導体デバイスの物理

丸善出版
岸野正剛　

• 価格: 3,960円（本体3,600円＋税）
• 発行年月: 1995年03月
• 判型: Ａ５
• ISBN: 9784621040249

内容情報

[BOOKデータベースより]

現在の私達の生活は半導体デバイスを抜きにしては考えられない。本書は現在もっとも多く使われているＭＯＳデバイスに重点を置き、半導体表面や界面の電荷の問題を詳述。また、デバイスの物理について量子論的な説明を加えた。

１　半導体中のキャリアの運動
２　エネルギーバンドと有効質量
３　真性半導体と不純物半導体
４　キャリアの注入とその振舞い
５　表面、界面と電子準位
６　ｐ‐ｎ接合とその特性
７　Ｍ‐Ｓ接合とその特性
８　ＭＯＳ構造とＭＯＳ電界効果
９　ＭＯＳダイオードの諸特性と酸化膜および界面の電荷
１０　ＭＯＳトランジスタとＭＯＳインバータ
１１　ＣＭＯＳデバイスとラッチアップ
１２　微細ＭＯＳデバイスのショートチャネル効果
１３　ＬＳＩプロセスの基礎