|
ゲスト さん （ログイン） |
|
|
ゲスト さん （ログイン） |
|
オンライン書店【ホンヤクラブ】はお好きな本屋での受け取りで送料無料！新刊予約・通販も。本（書籍）、雑誌、漫画（コミック）など在庫も充実
本好きのためのオンライン書店
Honya Club.comは日本出版販売株式会社が運営している
インターネット書店です。ご利用ガイドはこちら
 |
 |
価格：2,640円（本体2,400円＋税）
【2018年10月発売】
価格：1,540円（本体1,400円＋税）
【1998年12月発売】
価格：1,650円（本体1,500円＋税）
【2003年10月発売】
のマークが目印です。
HonyaClub会員規約個人情報の取扱いに関する規程
[BOOKデータベースより]
ＬＳＩの基本から加工技術まで平易に解説した標準テキスト。ＬＳＩのすべてについて体系的に。半導体技術の中心、ＬＳＩプロセスをわかりやすく図・表を豊富に用いて解説。
１章 概論（トランジスタの発明；集積回路の発明；ＬＳＩプロセス工学とは）
２章 ＬＳＩ構成要素の基本的働き
３章 ＬＳＩ構成部品の電気的性質
４章 ＬＳＩ製造の要素技術
５章 ＬＳＩ用微細加工技術―リソグラフィ技術
６章 ＬＳＩプロセス概要―豊田工業大学における実践例を中心として
７章 ＬＳＩプロセスを支える技術―豊田工業大学での実例を中心に