新ＬＳＩ工学入門

オーム社
右高正俊　

• 価格: 4,510円（本体4,100円＋税）
• 発行年月: 1992年03月
• 判型: Ａ５
• ISBN: 9784274033919

内容情報

[BOOKデータベースより]

ＬＳＩの基本から加工技術まで平易に解説した標準テキスト。ＬＳＩのすべてについて体系的に。半導体技術の中心、ＬＳＩプロセスをわかりやすく図・表を豊富に用いて解説。

１章　概論（トランジスタの発明；集積回路の発明；ＬＳＩプロセス工学とは）
２章　ＬＳＩ構成要素の基本的働き
３章　ＬＳＩ構成部品の電気的性質
４章　ＬＳＩ製造の要素技術
５章　ＬＳＩ用微細加工技術―リソグラフィ技術
６章　ＬＳＩプロセス概要―豊田工業大学における実践例を中心として
７章　ＬＳＩプロセスを支える技術―豊田工業大学での実例を中心に