半導体素子設計シミュレータ

丸善出版
富士総合研究所　

• 価格: 9,900円（本体9,000円＋税）
• 発行年月: 1991年08月
• 判型: Ａ５
• ISBN: 9784621036150

内容情報

[BOOKデータベースより]

本書は、広範にまたがる半導体素子製造の各工程の技術的背景から、最先端をゆく実用的シミュレータを例にとり開発技術を具体的に述べ、またシステム工学的見地からも多大な示唆を与えるものである。シミュレータ開発者は素より、半導体素子の研究者・開発技術者にもきわめて有用な実践的知識を提供する。

デバイス・シミュレータ
プロセス・シミュレータ
形状シミュレータ
回路シミュレータ
パラメータ抽出プログラム
インダクタンス・容量・抵抗計算プログラム
イオン注入シミュレータ