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価格：2,640円（本体2,400円＋税）
【2010年12月発売】
価格：4,187円（本体3,806円＋税）
【1988年02月発売】
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[BOOKデータベースより]
１編 真空技術と高機能化表面処理装置（真空技術の基礎―薄膜作成のよりどころ；表面処理装置）
２編 高機能性膜の製作技術と物性およびその応用（光学的機能膜；薄膜の光学的性質の評価；イオンプレーティングによるセラミックコーティング；ダイヤモンドおよび立方晶ボロンナイトライドの薄膜）