- 入門真空・薄膜・スパッタリング
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Ｖａｃｕｕｍ ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，ｔｈｉｎ ｆｉｌｍｓ，ａｎｄ ｓｐｕｔｔｅｒｉｎｇ．
- 価格
- 2,200円（本体2,000円＋税）
- 発行年月
- 1985年10月
- 判型
- Ａ５
- ISBN
- 9784765503587
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