真空ハンドブック ３訂版

オーム社
アルバック　

• 価格: 13,200円（本体12,000円＋税）
• 発行年月: 2024年03月
• 判型: Ｂ５
• ISBN: 9784274231773

内容情報

[BOOKデータベースより]

第１章　真空の基礎
第２章　真空用部品
第３章　真空用構成材料
第４章　熱
第５章　低温
第６章　プラズマ・イオンビーム
第７章　表面分析
第８章　薄膜・表面加工
第９章　応用

[日販商品データベースより]

真空装置の最新技術と関連データを網羅したハンドブック、待望の３訂版登場！
「真空ハンドブック」は、1992年11月に初版が、2002年に新装版が発行され、真空装置の最新技術と関連データを掲載した数少ない書籍として、長らく読者諸氏より好評を博してきました。
このたびの３訂版では、初版発行から現在までの技術的進展や、経済・産業上の環境変化を鑑み、内容や収録データの見直し・更新を行い、より現状の実務に即した書籍として発刊するものです。