はじめての半導体ドライエッチング技術 改訂版

現場の即戦力

技術評論社
野尻一男　

• 価格: 2,728円（本体2,480円＋税）
• 発行年月: 2020年11月
• 判型: Ａ５
• ISBN: 9784297115999

内容情報

[BOOKデータベースより]

１章　半導体集積回路の発展とドライエッチング技術
２章　ドライエッチングのメカニズム
３章　各種材料のエッチング
４章　ドライエッチング装置
５章　ドライエッチングダメージ
６章　新しいエッチング技術
７章　アトミックレイヤーエッチング（ＡＬＥ）
８章　ドライエッチング技術の今後の課題と展望

[日販商品データベースより]

「はじめての半導体ドライエッチング技術」 が出版 されてから 8年以上経過しましたが、半導体 の微細化・高集積化の進展は留まるところを知らず、次々新しい技術が出現しています。本書は、アトミックレイヤーエッチング（ALE）など新しい技術の解説や、ドライエッチング技術の今後の課題・展望についてなど、旧版に大幅に加筆訂正を行いました。