図解入門よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み 第３版

ファブから検査まで製造装置を俯瞰する
Ｈｏｗーｎｕａｌ　ｖｉｓｕａｌ　ｇｕｉｄｅ　ｂｏｏｋ　

秀和システム
佐藤淳一　

• 価格: 2,200円（本体2,000円＋税）
• 発行年月: 2019年12月
• 判型: Ａ５
• ISBN: 9784798060378

内容情報

[BOOKデータベースより]

製造装置の構想・構成から、検査・想定・解析装置まで。製造装置の現状と進歩が図解でよくわかる！

第１章　半導体製造装置を取り巻く現状
第２章　半導体製造装置をファブから理解する
第３章　洗浄・乾燥装置
第４章　イオン注入装置
第５章　熱処理装置
第６章　リソグラフィー装置
第７章　エッチング装置
第８章　成膜装置
第９章　平坦化（ＣＭＰ）装置
第１０章　検査・測定・解析装置
第１１章　後工程装置

[日販商品データベースより]

半導体の製造に不可欠な半導体製造装置の詳細を初心者に分かるように解説した半導体製造装置の入門書です。2019年現在の最新情報を踏まえて改定した最新版解説書です。