- ナノインプリントの開発とデバイス応用 普及版
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- 価格
- 6,160円（本体5,600円＋税）
- 発行年月
- 2018年03月
- 判型
- Ｂ５
- ISBN
- 9784781312729
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[BOOKデータベースより]
総論
第１編 転写方式（熱ナノインプリント；光ナノインプリント；室温ナノインプリント；ナノインプリントのシミュレーション技術）
第２編 装置と関連部材（ナノインプリント装置；モールド；樹脂；離型剤（評価）；離型不良・課題；ナノインプリントパターン評価）
第３編 デバイス応用（光デバイス；電子デバイス；エネルギーデバイス；バイオデバイス）