ドライプロセスによる表面処理・薄膜形成の基礎

コロナ社
表面技術協会　

• 価格: 3,080円（本体2,800円＋税）
• 発行年月: 2013年05月
• 判型: Ａ５
• ISBN: 9784339046311

内容情報

[BOOKデータベースより]

１　ドライプロセスとプラズマ（表面処理；ドライプロセスと真空　ほか）
２　真空およびプラズマ（真空；プラズマ　ほか）
３　ドライプロセスによる表面処理と薄膜形成（真空蒸着；イオンプレーティング　ほか）
４　分析と評価（膜厚測定；表面分析　ほか）

[日販商品データベースより]

ドライプロセスの歴史的発展過程にふれ、これを支える基盤技術である真空・プラズマを解説。さらに、代表的なドライプロセスについて、どんな原理・原則に基づいているか、薄膜・表面評価分析技術について解説。