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プロセスの全体を俯瞰する あなたの知らない半導体の秘密がわかる Howーnual Visual Guide Book
秀和システム新社 佐藤淳一
前工程から後工程まで、知りたいプロセスの全てが豊富なイラストで手に取るようにわかる。
第1章 半導体製造プロセスを理解する第2章 前工程のプロセスフロー第3章 洗浄・乾燥ウェットプロセス第4章 イオン注入・熱処理プロセス第5章 リソグラフィプロセス第6章 エッチングプロセス第7章 成膜プロセス第8章 平坦化(CMP)プロセス第9章 後工程プロセスの概要第10章 後工程の最新動向第11章 半導体プロセスの今後の動向
半導体はどうやって作るのか、半導体ビジネスに関わりたい人に最適。シリコンウェーハから半導体ファブ、前工程、後工程までのすべての半導体プロセスの基本と仕組みが図解でわかる入門書。
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[BOOKデータベースより]
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第1章 半導体製造プロセスを理解する
[日販商品データベースより]第2章 前工程のプロセスフロー
第3章 洗浄・乾燥ウェットプロセス
第4章 イオン注入・熱処理プロセス
第5章 リソグラフィプロセス
第6章 エッチングプロセス
第7章 成膜プロセス
第8章 平坦化(CMP)プロセス
第9章 後工程プロセスの概要
第10章 後工程の最新動向
第11章 半導体プロセスの今後の動向
半導体はどうやって作るのか、半導体ビジネスに関わりたい人に最適。シリコンウェーハから半導体ファブ、前工程、後工程までのすべての半導体プロセスの基本と仕組みが図解でわかる入門書。