- 半導体材料・デバイスの評価 第３版
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パラメータ測定と解析評価の実際
Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ ｍａｔｅｒｉａｌ ａｎｄ ｄｅｖｉｃｅ ｃｈａｒａｃｔｅｒｉｚａｔｉｏｎ．- 価格
- 27,500円（本体25,000円＋税）
- 発行年月
- 2012年05月
- 判型
- Ａ５
- ISBN
- 9784781304793
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パラメータ測定と解析評価の実際
Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ ｍａｔｅｒｉａｌ ａｎｄ ｄｅｖｉｃｅ ｃｈａｒａｃｔｅｒｉｚａｔｉｏｎ．
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価格：2,200円（本体2,000円＋税）
【2022年08月発売】
価格：1,650円（本体1,500円＋税）
【2025年05月発売】
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[BOOKデータベースより]
抵抗率
キャリア密度とドーピング密度
接触抵抗とショットキー障壁
直列抵抗、チャネルの長さと幅、しきい値電圧
欠陥の密度と準位
酸化膜および界面にトラップされた電荷、酸化膜の厚さ
キャリアの寿命
移動度
電荷のプローブ測定
光学的評価法〔ほか〕