図解入門よくわかる最新半導体リソグラフィの基本と仕組み

リソグラフィ技術の核心に迫る　微細化の鍵
Ｈｏｗーｎｕａｌ　ｖｉｓｕａｌ　ｇｕｉｄｅ　ｂｏｏｋ　

秀和システム
佐藤淳一　

• 価格: 2,200円（本体2,000円＋税）
• 発行年月: 2011年10月
• 判型: Ａ５
• ISBN: 9784798030630

内容情報

[BOOKデータベースより]

プロセスフローを例にして基礎から発展までの技術が豊富なイラストで手に取るようにわかる。

リソグラフィ技術とは引き算のプロセス？
光リソグラフィの発展
露光技術と装置
レジスト材料
レジスト塗布と現像
マスクとリソグラフィ技術
ＥＵＶリソグラフィ
リソグラフィの計測技術
多彩なパターニング技術
ＣＭＯＳロジックプロセス（フロントエンド）
ａ−Ｓｉ　ＴＦＴプロセス
ａ−Ｓｉ太陽電池プロセス

[日販商品データベースより]

半導体チップの微細回路を生み出すキーテクノロジー「リソグラフィ」技術をわかりやすく解説した入門書。プロセスフローを例にして、基礎から発展までの技術が豊富なイラストで手に取るようにわかる。