フォトマスク

電子部品製造の基幹技術

東京電機大学出版局
田辺功　竹花洋一　法元盛久　

• 価格: 4,180円（本体3,800円＋税）
• 発行年月: 2011年04月
• 判型: Ａ５
• ISBN: 9784501328207

内容情報

[BOOKデータベースより]

第１章　フォトマスク技術の基本
第２章　半導体用フォトマスク
第３章　電子部品用マスク
第４章　先端フォトマスク技術
第５章　ＮＧＬマスク技術
第６章　マスク産業の現状
第７章　リソグラフィ技術の今後とマスク技術の見通し

[日販商品データベースより]

フォトマスクは半導体のウェーハ上に回路配線を形成するために用いる原版のこと。フォトマスクの製造技術の進歩はハイテク産業の進歩につながる。本書は次世代技術をささえるフォトマスク技術について，開発に携わる著者がわかりやすく，体系的にまとめたものである。半導体関連，ディスプレイ関連，マイクロマシン関連技術に携わる技術者，研究者におすすめ。