はじめてのＭＥＭＳ

森北出版
江刺正喜　

• 価格: 2,750円（本体2,500円＋税）
• 発行年月: 2011年03月
• 判型: Ａ５
• ISBN: 9784627784918

内容情報

[BOOKデータベースより]

最先端技術ＭＥＭＳ（微小電気機械システム）の世界的権威である著者が、半導体技術に異分野技術を取り込んだＭＥＭＳをわかりやすく解説。

第１章　マイクロマシーニングとＭＥＭＳ（マイクロマシーニングとＭＥＭＳ；ＭＥＭＳの歴史）
第２章　ＭＥＭＳの製作（パターニング；エッチング；堆積と応力制御；接合；複合バランス；集積化；パッケージングと組立；設計・評価）
第３章　ＭＥＭＳの要素（センサ；アクチュエータ；エネルギー源）
第４章　ＭＥＭＳの応用（自動車・家電応用；情報・通信応用；製造・検査応用；医療・バイオ応用；ＭＥＭＳビジネス）