図解入門よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み

製造装置の全体を俯瞰する技術力の真髄
Ｈｏｗーｎｕａｌ　ｖｉｓｕａｌ　ｇｕｉｄｅ　ｂｏｏｋ　

秀和システム新社
佐藤淳一　

• 価格: 1,980円（本体1,800円＋税）
• 発行年月: 2010年05月
• 判型: Ａ５
• ISBN: 9784798026107

内容情報

[BOOKデータベースより]

製造装置の構造・構成から検査・測定・解析装置まで、豊富なイラストで手に取るようにわかる。

第１章　半導体製造装置を周辺から理解する
第２章　洗浄・乾燥装置
第３章　イオン注入装置
第４章　熱処理装置
第５章　リソグラフィー装置
第６章　エッチング装置
第７章　成膜装置
第８章　平坦化（ＣＭＰ）装置
第９章　検査・測定・解析装置
第１０章　後工程装置

[日販商品データベースより]

半導体製造装置の構造・構成から検査・測定・解析装置まで、豊富なイラストで解説した入門書。現場で使われている用語も交え、現場に近い視点で解説。「図解入門よくわかる最新半導体プロセスの基本と仕組み」姉妹編。