はじめてのＭＥＭＳ

ビギナーズブックス　４８

工業調査会
江刺正喜　

• 価格: 2,530円（本体2,300円＋税）
• 発行年月: 2009年09月
• 判型: Ａ５
• ISBN: 9784769312871

内容情報

[BOOKデータベースより]

ＭＥＭＳ（微小機械電気システム）の応用分野が拡大している。従来の自動車のエアバッグ、情報通信機器への応用から、最近はゲーム機、製造装置、科学機器、医療福祉機器分野での採用も始まっている。本書では、入門者がＭＥＭＳの基礎から製作、要素、応用までを学べるよう解説した。

第１章　マイクロマシーニングとＭＥＭＳ（マイクロマシーニングとＭＥＭＳ；ＭＥＭＳの歴史）
第２章　ＭＥＭＳの製作（パターニング；エッチング；堆積と応力制御；接合；複合プロセス；集積化；パッケージングと組立；設計・評価）
第３章　ＭＥＭＳの要素（センサ；アクチュエータ；エネルギー源）
第４章　ＭＥＭＳの応用（自動車・家電応用；情報・通信応用；製造・検査応用；医療・バイオ応用；ＭＥＭＳビジネス）