クリーンルーム入門 第３版

初心者のための

日本工業出版
クリーンテクノロジー編集委員会　

• 価格: 2,750円（本体2,500円＋税）
• 発行年月: 2008年09月
• 判型: Ａ５
• ISBN: 9784819020060

内容情報

[BOOKデータベースより]

第１章　クリーンルーム設計の予備知識（クリーンルームとは；クリーンルームに使用される構成部材・関連設備；クリーンルーム関連計測機器・用品）
第２章　クリーンルームの計画・設計（クリーンルームの計画；クリーンルームの設計）
第３章　クリーンルームの施工（クリーンルーム施工のポイント；クリーンルーム施工の合理化；クリーンルームの安全性）
第４章　クリーンルームの性能評価（クリーンルームに関する規格類；性能評価試験；空気中の分子汚染物質（ＡＭＣｓ））
第５章　クリーンルームの維持管理（モニタリングと作業者の管理；衣服・清浄化・設備）