- クリーンルーム入門 第３版
-
初心者のための
- 価格
- 2,750円（本体2,500円＋税）
- 発行年月
- 2008年09月
- 判型
- Ａ５
- ISBN
- 9784819020060
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[BOOKデータベースより]
第１章 クリーンルーム設計の予備知識（クリーンルームとは；クリーンルームに使用される構成部材・関連設備；クリーンルーム関連計測機器・用品）
第２章 クリーンルームの計画・設計（クリーンルームの計画；クリーンルームの設計）
第３章 クリーンルームの施工（クリーンルーム施工のポイント；クリーンルーム施工の合理化；クリーンルームの安全性）
第４章 クリーンルームの性能評価（クリーンルームに関する規格類；性能評価試験；空気中の分子汚染物質（ＡＭＣｓ））
第５章 クリーンルームの維持管理（モニタリングと作業者の管理；衣服・清浄化・設備）