- はじめての半導体計測
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- 価格
- 2,640円(本体2,400円+税)
- 発行年月
- 2008年03月
- 判型
- A5
- ISBN
- 9784769312710
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【2011年09月発売】

























[BOOKデータベースより]
計測の中で、半導体デバイスの研究・開発・製造に用いられる観測技術を「半導体計測」という。半導体デバイスが現在のIT(情報技術)時代・ユビキタス社会(どこにでもコンピュータが存在する社会)を支える土台であるとするならば、半導体計測はその土台を下支えする基礎になり、歩留まり向上などにも重要な役割を果たす。本書は、こうした半導体計測技術の基礎から各手法の内容、またケースごとの半導体計測の原理やポイントについて詳細に解説。
第1章 計測(計測とは;計測の機能;計測の性能;トレーサビリティ)
第2章 半導体計測(半導体計測の種類;半導体計測の特徴;半導体計測の手法)
第3章 主な半導体計測(パターン寸法・LER(LWR)・形状の観測;微粒子・パターン欠陥の検査;膜厚の測定;ウエーハ表面汚染物質の分析;補足:既成概念からの脱却…超高エネルギー電子ビームの使用)