絵とき「放電技術」基礎のきそ

Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ　ｓｅｒｉｅｓ　

日刊工業新聞社
小林春洋　

• 価格: 2,310円（本体2,100円＋税）
• 発行年月: 2007年08月
• 判型: Ａ５
• ISBN: 9784526058653

内容情報

[BOOKデータベースより]

ナノサイズの素子を作るためのキーテクノロジーである放電プラズマ。その各装置と応用の両面での参考書。

第１章　放電・プラズマの概要（放電・プラズマとは；高度情報化社会を支える放電技術　ほか）
第２章　物質の構成要素と気体（物質の最小微粒子；電子の３つの顔　ほか）
第３章　放電プラズマの基礎（電子と分子の衝突；放電開始　ほか）
第４章　放電プラズマ直接応用（スパッタ薄膜；プラズマＣＶＤ　ほか）
第５章　プラズマ・プロセス応用（垂直磁気記録；超ＬＳＩ　ほか）