電子線リソグラフィ教本

オーム社
秋永広幸　横山浩　

• 価格: 3,300円（本体3,000円＋税）
• 発行年月: 2007年06月
• 判型: Ａ５
• ISBN: 9784274204159

内容情報

[BOOKデータベースより]

第１章　電子線リソグラフィ概論
第２章　電子線制御技術
第３章　電子線描画装置
第４章　電子線描画技術
第５章　電子線レジスト
第６章　電子線リソグラフィプロセス
第７章　電子線リソグラフィ技術の活用
第８章　電子線描画装置の導入
第９章　電子線描画装置の操作方法

[日販商品データベースより]

実際の目的に直結した、「電子線リソグラフィ」の実践的な教本。見開きで本文の内容と図表が対応するように配置し、各章の最後には「理解度チェック」のページを設けた。キーワードは、太字で表示する。