ナノエレクトロニクス 上巻

Ｎａｎｏｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ　ａｎｄ　ｉｎｆｏｒｍａｔｉｏｎ　ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ．２ｎｄ　ｅｄ．

オーム社
ライナー・バサー　木村達也　

• 価格: 10,476円（本体9,524円＋税）
• 発行年月: 2006年11月
• 判型: Ａ５
• ISBN: 9784274501104

内容情報

[BOOKデータベースより]

総論
第１部　基礎（誘電体；強誘電体；電子的性質と量子効果　ほか）
第２部　技術と分析（薄膜堆積法；露光法；材料除去技術―エッチングと化学機械研磨　ほか）
第３部　論理デバイス（シリコンＭＯＳＦＥＴ―新材料と新概念；強誘電体電界効果トランジスタ；共鳴トンネリングに基づく量子輸送デバイス　ほか）

[日販商品データベースより]

ナノエレクトロニクスと情報技術領域の、材料とデバイスに焦点を当て、基本から説き起こし、最先端の状況や考え方にも言及した教科書。上巻では総論、基礎、技術と分析、論理デバイスを扱う。