はじめての半導体シリコン

ビギナーズブックス　４２

工業調査会
福田哲生　

• 価格: 2,420円（本体2,200円＋税）
• 発行年月: 2006年09月
• 判型: Ａ５
• ISBN: 9784769312543

内容情報

[BOOKデータベースより]

エンジニアがあらたに生じる問題に切り込むためには、「なぜそうなるのか」までを含め、現象をできるだけ単純なモデルで理解しておく必要がある。本書では、模式図を豊富に用いて、シリコン結晶やウェーハに関する一般的な基礎をできるだけわかりやすく記述した。

第１章　シリコンとデバイスの概論（シリコン結晶およびウェーハ概論；デバイス概論）
第２章　ウェーハの結晶欠陥とデバイス（結晶欠陥とリーク電流；結晶欠陥の形成　ほか）
第３章　ウェーハの機械的性質とプロセス（転位、不純物と機械的性質；ウェーハに生じる熱応力と強度　ほか）
第４章　ウェーハのトポグラフィとプロセス、デバイス（ナノトポグラフィ；平坦度　ほか）
第５章　今後のウェーハ動向（（１１０）ウェーハ；次世代大口径ウェーハ　ほか）

[日販商品データベースより]

エンジニアが新たに生じる問題に切り込むためには、現象をできるだけ単純なモデルで理解しておく必要がある。本書では、模式図を豊富に用いて、シリコン結晶やウェーハに関する一般的な基礎をわかりやすく記述した。