はじめての薄膜作製技術

ビギナーズブックス　４０

工業調査会
草野英二　

• 価格: 2,420円（本体2,200円＋税）
• 発行年月: 2006年03月
• 判型: Ａ５
• ISBN: 9784769312529

内容情報

[BOOKデータベースより]

コンピュータからメガネレンズまで、薄膜作製技術は欠かせることのできない基盤技術の１つである。にもかかわらず、学問的には体系的に理解されていず、現場の経験と勘に負うところが大きい。デバイス製造の現場においては、日々の問題を解決しつつ、薄膜作製の手法をできるだけ学術的理解に基づいたものとすることが求められている。

第１章　薄膜とは
第２章　薄膜作製技術の基礎
第３章　真空蒸着法
第４章　スパッタリング法
第５章　化学気相成長法
第６章　薄膜の評価技術
第７章　薄膜作製技術の応用