この商品をご覧のお客様は、こんな商品もチェックしています。
- トポロジー最適化の基礎
-
価格：4,950円（本体4,500円＋税）
【2024年05月発売】
- 機械振動学
-
価格：3,960円（本体3,600円＋税）
【2000年02月発売】
- 車体構造工学
-
価格：5,500円（本体5,000円＋税）
【2022年11月発売】
- 固体力学の基礎
-
価格：3,850円（本体3,500円＋税）
【2014年10月発売】
- ベアリングのおはなし
-
価格：1,760円（本体1,600円＋税）
【1987年03月発売】
のマークが目印です。
[BOOKデータベースより]
第１章 導入
[日販商品データベースより]第２章 真空と気体分子運動論
第３章 プラズマの基礎
第４章 物理蒸着法（ＰＶＤ）
第５章 薄膜の形成過程
第６章 エッチング
第７章 フォトリソグラフィ
付録Ａ 基礎定数表と真空の単位
付録Ｂ 材料の科学についてのノート
付録Ｃ 分布関数とマックスウェル―ボルツマン分布
付録Ｄ 対数目盛と対数グラフ
マイクロ・ナノ加工の要素技術である真空、プラズマ、薄膜、エッチング加工およびフォトリソグラフィーについて、その物理・化学の基本原理を解説する。とくに、集積回路、記憶媒体、液晶ディスプレイ、マイクロマシンなど先端精密機器を製造する上で欠かせない薄膜ドライプロセッシングに主眼を置いている。