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[BOOKデータベースより]
第１章 薄膜技術
第２章 真空の基礎
第３章 真空ポンプと真空計測
第４章 真空装置の実際
第５章 薄膜の基礎
第６章 薄膜作成法
第７章 基板
第８章 蒸着法
第９章 スパッタ
第１０章 気相成長ＣＶＤと熱酸化窒化
第１１章 エッチング
第１２章 精密めっき
第１３章 平坦化技術