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[BOOKデータベースより]
ＭＥＭＳとは関わりが今までなかったが、これからこの分野に参入したい企業の方や学生の方のために著したのが本書である。本書では、ＭＥＭＳの製造方法、様々な応用と動作原理、そしてその設計手法について概説する。ＭＥＭＳ技術に興味を持つ方、特に他分野からＭＥＭＳ技術の応用を目指している技術者・研究者を想定して、できるだけ平易で実用的な内容とした。
１章 身近で活躍するＭＥＭＳ
２章 ＭＥＭＳの製造方法
３章 ＭＥＭＳのパッケージング
４章 ＭＥＭＳ製造のキーポイント
５章 ＭＥＭＳにおける微細成形技術
６章 ＭＥＭＳセンサ
７章 ＭＥＭＳアクチュエータ
８章 ＭＥＭＳ設計・シミュレーションの実際
９章 フォトマスクの書き方