進化するマイクロマシン

産業化のロードマップとナノとの融合

日刊工業新聞社
μＭ産業化研究会　マイクロマシンセンター　

• 価格: 3,080円（本体2,800円＋税）
• 発行年月: 2004年11月
• 判型: Ａ５
• ISBN: 9784526052279

内容情報

[BOOKデータベースより]

本書では、平成１４，１５年度に（財）マイクロマシンセンターに設けられた「マイクロマシンの長期ビジョンに関する調査研究部会」における将来展望の議論を踏まえ、これにマイクロマシン産業化のこれまでの展開や、マイクロマシン技術の現状と展望、ナノ技術への展開を含めて、今後ますます「進化する」マイクロマシン技術を解説している。

第１章　マイクロマシンとは（なぜ今マイクロマシン；マイクロマシン技術の特徴　ほか）
第２章　マイクロマシンの技術の現状と展望（基盤技術；ＭＥＭＳ・デバイス技術　ほか）
第３章　ナノテクノロジーとの融合―ナノテクノロジー材料はマイクロマシンと融合して製品になる（マイクロマシンの現状―立体幾何学的構造が機能を生むマイクロマシン；マイクロ・ナノ融合技術　ほか）
第４章　応用分野の将来展望（ナノバイオ；健康・医療・福祉　ほか）
第５章　産業化への課題（ＭＥＭＳの市場特性；ＭＥＭＳの産業の課題　ほか）