マイクロマシン技術総覧

ナノテクノロジーの基盤技術

産業技術サービスセンター 東京官書普及
マイクロマシン技術総覧編集委員会　

• 価格: 51,700円（本体47,000円＋税）
• 発行年月: 2003年01月
• 判型: Ｂ５
• ISBN: 9784915957406

内容情報

[BOOKデータベースより]

総論　マイクロテクノロジーへの展開
第１編　基礎編（マイクロ理工学；マイクロ材料）
第２編　微細加工技術（機械加工；マイクロ電気加工・ビーム加工；エッチング；ＰＶＤ、ＣＶＤ；ＬＩＧＡプロセス；マイクロ光造形）
第３編　マイクロマシンの要素（総論―ナノ・マイクロマシンを設計する；マイクロメカニズム；マイクロアクチュエータ；マイクロマニピュレーション；マイクロ計測）
第４編　マイクロマシン応用例（マイクロアクチュエータの応用；マイクロ要素・デバイス；マイクロセンサデバイス；マイクロシステム；その他）