マイクロ波プラズマの技術

オーム社
電気学会　

• 価格: 5,390円（本体4,900円＋税）
• 発行年月: 2003年09月
• 判型: Ａ５
• ISBN: 9784274197109

内容情報

[BOOKデータベースより]

１章　プラズマ生成入門
２章　マイクロ波帯のプラズマの発展と特色
３章　マイクロ波帯のプラズマ生成の考え方
４章　プラズマ生成のモデリングとシミュレーション
５章　マイクロ波帯プラズマの実際と応用
６章　プラズマ生成のためのマイクロ波技術

[日販商品データベースより]

未開拓の可能性を多く秘めているマイクロ波帯のプラズマ。本書では、このマイクロ波プラズマに関して、その生成・維持機構、発生・制御技術および各種応用技術の実例などを網羅。他に例を見ない特色ある専門書。