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価格：7,260円（本体6,600円＋税）
【1999年12月発売】
のマークが目印です。
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[BOOKデータベースより]
超微細加工
単結晶とガラスの基板
熱酸化
リソグラフィー（露光・描画技術）
エッチング
ドーピング―熱拡散とイオン注入
薄膜の基本的性質と薄膜作成法の概要
気相成長法・ＣＶＤ・エピタクシー
蒸着とイオンプレーティング
スパッタ
精密めっき
平坦化技術