ビジュアル真空技術

コロナ社
平谷雄二　

• 価格: 2,970円（本体2,700円＋税）
• 発行年月: 2001年10月
• 判型: Ａ５
• ISBN: 9784339007367

内容情報

[BOOKデータベースより]

１編　装置のメカニズム（真空ポンプ；真空計；質量分析計）
２編　真空技術の基本公式（ＰＶ＝ｎＲＴ；平衡蒸気圧；気体の衝突頻度Ｊ＝ＮＶ／４；愛のごとき物質の変化）

[日販商品データベースより]

半導体デバイスや光学薄膜の作製などに不可欠な技術である真空技術について、基本からビジュアルに解説する。１章では、真空計と質量分析装置、２章では、真空技術の基本公式について説明する。