- イオンビーム技術の開発
-
- 価格
- 5,170円（本体4,700円＋税）
- 発行年月
- 2001年06月
- 判型
- Ａ５
- ISBN
- 9784882317302
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[BOOKデータベースより]
本書は、基礎的なイオンビームの物理化学、各種イオンビーム装置技術、またこれらの装置を用いた応用技術、特にイオン注入あるいは薄膜コーティングを主体にした表面機能材料、機能素子への応用に重点を置き、それぞれの分野の第一人者に執筆頂いたものである。
基礎編（イオンビームと固体との相互作用；イオンビームの物理化学；イオンビームの発生と輸送；イオンビーム装置）
応用編（イオン注入による表面改質技術とその応用；イオンミキシングによる表面改質技術とその応用；薄膜形成表面被覆技術とその応用；表面除去加工技術とその応用；イオンビームによる分析評価技術 ほか）