半導体製造装置用語辞典 第５版

日刊工業新聞社
日本半導体製造装置協会　

• 価格: 5,170円（本体4,700円＋税）
• 発行年月: 2000年11月
• 判型: Ａ５
• ISBN: 9784526046667

内容情報

[BOOKデータベースより]

第５版では、半導体を取り巻く環境の急変に合わせ、新規用語２３８語を採用し、掲載用語総数は２６３６語になった。各工程別では、「設計工程」が用語の構成を変更し、「ウェーハ処理工程」ではＣＭＰ関連の用語を大幅に増やした。「組立工程」ではグラインディングの項を新設し、「設備・環境工程」は安全規格用語の見直しを図った。

第１章　半導体製造フローチャートと装置用語の構成
第２章　設計工程用語
第３章　マスク製作工程用語
第４章　ウェーハ製造工程用語
第５章　ウェーハ処理工程用語
第６章　組立工程用語
第７章　検査工程用語
第８章　設備・環境工程用語