超精密洗浄技術の開発

シーエムシー出版
角田光雄　

• 価格: 3,520円（本体3,200円＋税）
• 発行年月: 2000年09月
• 判型: Ａ５
• ISBN: 9784882310839

内容情報

[BOOKデータベースより]

超精密洗浄技術が環境問題により変化した。そのことについて各分野の第一線で活躍中の方々に執筆していただいている。

第１章　精密洗浄の技術動向（精密洗浄技術；洗浄メカニズム　ほか）
第２章　超精密洗浄技術（ウェハ洗浄技術；ウェハ乾燥技術　ほか）
第３章　ＣＦＣ‐１１３と１，１，１‐トリクロロエタンの規制動向と規制対応状況（国際法による規制スケジュール；規制強化に関する最近の動向　ほか）
第４章　洗浄剤・洗浄装置などの市場（洗浄剤；純水製造装置、公害防止装置などの市場）