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[BOOKデータベースより]
今日の半導体産業などの急速な進展に伴い、アルシンやホスフィン、シランなどＬＳＩ製造過程で使用される化学物質の量は、飛躍的に増大しています。しかしこれらの物質の性状、危険性、緊急措置等、細部にわたる情報は少なく、さらにその情報の関係者への周知徹底も極めて不十分となっています。こうした時代の要請に応え，日本の半導体産業をはじめとする先端技術産業の安全向上を企図、現場技術者必携のわが国初の安全データシートハンドブックです。