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[BOOKデータベースより]
本書は、超精密加工に不可欠な、根本的に考慮すべき要素技術を重点的に取り上げている。
１ 超精密加工の必要性
２ 超精密加工機械
３ 超精密切削
４ 超精密研削
５ 超精密ポリシング
６ リソグラフィおよびエッチング
７ 高精度プラスチックレンズ