この商品をご覧のお客様は、こんな商品もチェックしています。
- 図解即戦力 半導体プロセスのしくみとビジネスがこれ１冊でしっかりわかる教科書
-
価格：2,200円（本体2,000円＋税）
【2025年01月発売】
|
ゲスト さん （ログイン） |
|
|
ゲスト さん （ログイン） |
|
オンライン書店【ホンヤクラブ】はお好きな本屋での受け取りで送料無料！新刊予約・通販も。本（書籍）、雑誌、漫画（コミック）など在庫も充実
この商品をご覧のお客様は、こんな商品もチェックしています。
価格：2,200円（本体2,000円＋税）
【2025年01月発売】
本好きのためのオンライン書店
Honya Club.comは日本出版販売株式会社が運営している
インターネット書店です。ご利用ガイドはこちら
 |
 |
価格：901円（本体819円＋税）
【2014年04月発売】
価格：901円（本体819円＋税）
【2013年11月発売】
価格：472円（本体429円＋税）
【1997年08月発売】
のマークが目印です。
HonyaClub会員規約個人情報の取扱いに関する規程
[BOOKデータベースより]
本書は、超ＬＳＩシリーズの２０巻目にあたり、サブ０．１μｍ世代に向けて各プロセスを基礎から見直し、今後の開発方向を考えることを目的とした。
１章 シリコンＬＳＩの将来
２章 イオン注入によるクォータミクロンＣＭＯＳ構造設計
３章 高精度プロセスモデリング
４章 ０．３５〜０．２５μｍ光リソグラフィ技術
５章 ＥＢ露光（図形一括露光とマルチビーム）の現状と課題
６章 化学増幅型レジストの現状と今後の展望
７章 Ｏ３酸化技術
８章 アルミニウム配線のエレクトロマイグレーション
９章 シリコンにおける重金属ゲッタリング