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アドバンストエレクトロニクスシリーズ Tー15
培風館 大見忠弘
本書は、幾多の研究実験施設やプロセス工場の設計に携わってきた著者が、クリーン技術に関するあらゆる問題と処理法について、そのノウハウと理論的側面を解説し、併せてその技術によって可能となる新デバイスにまで言及した大変示唆に富む解説書。
4端子デバイスエレクトロニクス高精度トータル低温化プロセス表面・界面のウルトラクリーン化技術クリーン表面とガス分子の相互作用
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[BOOKデータベースより]
本書は、幾多の研究実験施設やプロセス工場の設計に携わってきた著者が、クリーン技術に関するあらゆる問題と処理法について、そのノウハウと理論的側面を解説し、併せてその技術によって可能となる新デバイスにまで言及した大変示唆に富む解説書。
4端子デバイスエレクトロニクス
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